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作為先進的納米壓印設備，EVG7300紫外光納米壓印機憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級對準精度及模塊化設計，成為半導體、光學元件及生物醫療領域的關鍵制造工具。本文從設備結構、操作流程、關鍵參數調控及維護要點四方面，解析其高效使用的...
一、特點固有振動頻率是指某種物體共振的頻率，阻尼則是指在振動運動中消除能量、以減輕振動的特點。固有振動頻率與地基振動的振動頻率比（f/fn）稱作振動傳遞率，是判定隔振效果的標準。固有振動頻率愈小、地基振動頻率愈大，隔振臺的隔振效率愈高。也就是說，振動傳遞率愈低，隔振效果愈佳。振動頻率比(f/fn)低于1.414時為增幅，數值為1時固有振動頻率與地基振動頻率相同，高于1.414則實現隔振。隔振臺一般分為線圈彈簧(CoilSpring)和空氣彈簧(AirSpring)兩種，線圈彈...
HERZ是聞名的隔振臺系統方案供應商之一。在納米技術的時代，極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響，必須改善測量環境，以發揮儀器的最佳效能，達到最佳成果。從高層次的研究乃至各個行業的基本生產，要想有效地發展納米技術，消除振動尤為重要！在過去的40年里，HERZ已發展成為被動式隔振設備的主流供應商，在該領域積累了豐富經驗。與此同時，測量技術有了很大進步，一些靈敏的設備會受到被動式隔振系統中低頻共振頻率的干擾，此類干擾唯有主動式隔振系統能夠消除。因此，HERZ在被動式隔振系統產...
接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介紹集成電路特征尺寸的持續縮小，對化學機械拋光后的平整度要求日益提高。氧化釔(Y2O3)是一種非常有前景的抗等離子涂層材料，可作化學機械拋光(CMP)磨料，應用十分廣泛。因其優異的溫度穩定性和對具有高氧親和力的堿性熔體的出色耐受性，Y2O3被用在許多特殊材料上，例如絕緣體、玻璃、導...
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統，光學膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程，可在200-1700nm光譜范圍內提供各種光學配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學膜厚儀模塊化厚度測繪系統平臺，集成了先進的光學、電子和機械模塊，用于表征圖案化薄膜光學參數。典型案例包括（但不限于）微圖案表面、粗糙表面等。該機型光學模塊功能強大，可測量的光...
掩模對準光刻機是將二維圖案轉印到平坦基板上的方法。可以通過以下兩種基本方法之一實現圖案化：直接寫入圖案，或通過掩模版/印章轉移圖案。限定的圖案可以幫助限定襯底上的特征（例如蝕刻），或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機輔助設計（CAD）定義圖案模式。多數情況下，這些特征是使用抗蝕劑形成的，可以使用光（使用光致抗蝕劑），電子束（使用電子束抗蝕劑）或通過物理沖壓（不需要抗蝕劑，也叫納米壓印）來定義圖案特征。圖案的特征可以被轉移到另一個層蝕刻，電鍍或剝離。掩模對準光刻機的技術領域...